FIB · 聚焦离子束微纳加工
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FIB聚焦离子束微纳加工服务Focused Ion Beam Milling & Fabrication

提供FIB定点截面切割、TEM薄片样品制备、微纳加工与图形化等第三方服务。适合需要精确定位、纳米级加工的科研与研发场景:界面缺陷分析、特定组织区域透射观察、微结构制备等。

常见问题

FIB 可加工项目

从定点截面到透射样品制备,按观察/加工目标选择合适的束流条件与流程。

🎯

定点截面切割

在指定位置(缺陷点、焊点、界面、涂层区域)切出截面并成像观察,用于失效分析与结构评估。

🔬

TEM 薄片制备

特定位置透射薄片(Lamella)制备,含 Pt 保护沉积、粗切、精修与 final polish,配合 TEM / 球差电镜观察。

🧵

APT 针尖制备

原子探针所需针尖样品制备,适配 APT 分析的尖端曲率要求。

⚙️

微纳加工与图形化

微米/纳米尺度定点刻蚀、沉积与图形化加工,用于器件原型与特殊结构制备。

🔩

截面分析配套

截面切割后可同步进行 SEM 成像、EDS 成分线扫 / 面扫,一次上机完成形貌与成分联测。

🛠️

样品修复辅助

配合研发提供局部修整、暴露内部结构等加工辅助,按需求评估可行性。

FIB 送样要求

FIB 是定点加工,位置标注越清楚,返工越少。以下要点请在寄样前确认。

  • 标注兴趣区:在样品上或附带照片中明确标出加工位置;小样品建议附显微镜/相机照片并在图上画圈标注。
  • 样品尺寸:以可放入 FIB 样品仓为准,常规块体建议不超过 1 厘米见方、高度 1 厘米以内;过大需切样。
  • 导电性:不导电样品需喷金/喷碳后加工;强磁性样品需提前说明评估。
  • 加工目标:说明切片厚度目标(如 TEM 用 100 nm 级薄片)、观察区域深度、是否需要 Pt 保护层。
  • 配套需求:如需截面 SEM 成像或 EDS 联测,请在提交需求时一并说明,便于安排在同一次上机完成。
  • 数量与编号:多点位、多样品请在包装与清单中逐个编号,照片标注与编号一一对应。

加工流程

定点加工的前置沟通很重要:位置、厚度、观察目标三件事确认清楚后再上束流。

01

需求提交

说明样品、加工位置与目标(截面 / 薄片 / 图形化),附位置标注照片。

02

方案确认

技术人员评估可行性,确认束流条件、薄片厚度与配套成像方案并报价。

03

寄送样品

寄至北京海淀或江苏无锡地址,随附编号清单与标注照片。

04

上束加工

按确认方案加工;加工过程发现位置偏差或结构异常时同步沟通。

05

交付与转移

交付薄片 / 截面图像与加工记录;TEM 薄片可直接转入我方 TEM / 球差电镜测试。

常见问题

关于 FIB 加工价格、周期与配套测试的常见疑问。

FIB 加工多少钱?

按加工类型(截面 / TEM 薄片 / 图形化)、点位数量与难度报价,TEM 薄片通常按片计价。提交需求表单说明样品与目标后给出正式报价。

定点位置怎么标注?

最简单的方式:拍一张清晰照片(手机即可),用画笔在要加工的位置画圈并编号,随样品一起发送或打印随寄。位置在几十微米以内的兴趣区,照片标注通常足够。

FIB 切的 TEM 薄片能在你们那里直接做 TEM 吗?

可以。我方 TEM 透射电镜与球差电镜为自营设备,薄片制备完成后可直接转入 TEM 测试,避免转运与氧化风险,也节省周期。

加工周期要多久?

截面切割类需求确认后数个工作日内可安排;TEM 薄片视点位数量与难度评估排期,具体在方案确认时明确。

截面能同时做成分分析吗?

可以。FIB 截面后可同步进行 SEM 成像与 EDS 线扫 / 面扫,一次上机获得形貌与成分分布结果,需求表单里注明即可。

准备送样加工?

填写需求表单,附上位置标注照片更快进入排期;也可直接电话/微信联系徐经理、钟经理。

徐经理 13426445751(同微信) · 钟经理 15600909562(同微信) · xuh1021@126.com

相关服务:SEM扫描电镜测试 · 全部检测项目